AGP4000 MEMS จัดจอดิจิตอลความแม่นยําสูง คาโทดเย็น เครื่องวัดระยะว่างประกอบ

                    AGP4000 MEMS เครื่องวัดสุญญากาศดิจิทัลความแม่นยำสูงแบบแคโทดเย็นแบบผสม เครื่องวัดสุญญากาศแบบ Pirani

การใช้งาน:

• การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ใช้สำหรับการตรวจสอบสภาพแวดล้อมสุญญากาศในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การเคลือบเซมิคอนดักเตอร์ การควบคุมระดับสุญญากาศที่แม่นยำมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อคุณภาพและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ และ AGP4000 สามารถให้ข้อมูลสุญญากาศที่เชื่อถือได้เพื่อให้มั่นใจในเสถียรภาพของกระบวนการ
• สาขาการบินและอวกาศ: ในการทดสอบส่วนประกอบการบินและอวกาศและสถานการณ์อื่นๆ จำเป็นต้องจำลองสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่แตกต่างกันเพื่อทดสอบประสิทธิภาพของส่วนประกอบ AGP4000 สามารถตรวจสอบได้เต็มช่วงตั้งแต่สุญญากาศต่ำไปจนถึงสุญญากาศสูง ให้การสนับสนุนข้อมูลที่สำคัญสำหรับการวิจัยและพัฒนาและการทดสอบการบินและอวกาศ
• การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ที่แม่นยำ: ในการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ที่แม่นยำ เช่น การทดลองทางกายภาพและเคมีบางอย่างที่ต้องการการควบคุมสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีความแม่นยำสูง AGP4000 สามารถช่วยให้นักวิจัยได้รับข้อมูลระดับสุญญากาศอย่างแม่นยำ เพื่อให้มั่นใจในความถูกต้องและความสามารถในการทำซ้ำของผลการทดลอง
• การใช้งานเตาอบสุญญากาศ: สำหรับเตาอบสุญญากาศ จำเป็นต้องมีระดับสุญญากาศที่แตกต่างกันในแต่ละขั้นตอนของกระบวนการ AGP4000 สามารถตรวจสอบระดับสุญญากาศในเตาอบได้แบบเรียลไทม์ และทำงานร่วมกับระบบควบคุมเพื่อปรับระดับสุญญากาศ เพื่อให้มั่นใจในคุณภาพการอบชุบด้วยความร้อนของวัสดุและอายุการใช้งานของเตาอบ

คุณสมบัติ:

• การวัดที่กว้างและแม่นยำสูง: สามารถตรวจสอบได้อย่างแม่นยำเต็มช่วงตั้งแต่สุญญากาศต่ำไปจนถึงสุญญากาศสูง (1×10⁻⁶Pa ~ 1×10⁵Pa) ครอบคลุมช่วงกว้าง 6 อันดับของขนาด โดยมีข้อผิดพลาดในการทำซ้ำ ≤±5% และมีความเสถียรในระยะยาวที่ยอดเยี่ยม ให้พื้นฐานข้อมูลที่เชื่อถือได้สำหรับกระบวนการที่สำคัญ
• การทำงานร่วมกันอัจฉริยะแบบสองเทคโนโลยี: ระบบ Pirani ทำงานตลอดกระบวนการ และเมื่อระดับสุญญากาศคือ< 10 Pa ระบบแคโทดเย็นจะเริ่มทำงานโดยอัตโนมัติโดยไม่ต้องมีการแทรกแซงจากมนุษย์ ซึ่งแก้ปัญหาข้อจำกัดของช่วงอุปกรณ์แบบดั้งเดิมได้อย่างสมบูรณ์
• แข็งแรงทนทาน: การออกแบบแคโทดเย็นไม่จำเป็นต้องใช้ไส้หลอดทำความร้อน ซึ่งมีความสามารถในการป้องกันมลพิษที่แข็งแกร่ง ยืดอายุการใช้งานได้อย่างมาก และลดต้นทุนการบำรุงรักษา
• การแสดงผลแบบสีจริง: มาพร้อมกับหน้าจอสี TFT-LCD ความละเอียดสูง ซึ่งสามารถแสดงค่าความดันแบบไดนามิกได้แบบเรียลไทม์ และสามารถสลับระหว่างสามหน่วย (Pa/Torr/mbar) ได้ด้วยการกดปุ่มเพียงครั้งเดียว และยังแสดงอุณหภูมิ สถานะการสื่อสาร และเครื่องหมายเปิด/ปิดแรงดันสูง (คำเตือนสองสีแดง/น้ำเงิน) เพื่อให้ข้อมูลชัดเจนในพริบตา
• เอาต์พุตสองโหมด: มีสัญญาณอนาล็อกเชิงเส้น 0~10V ซึ่งสามารถเชื่อมต่อโดยตรงกับอุปกรณ์อุตสาหกรรม เช่น PLC และเครื่องบันทึก และรองรับสูตรการแปลงลอการิทึม ทำให้ปรับเข้ากับระบบได้ง่าย ในขณะเดียวกันก็มีโปรโตคอล Modbus RTU มาตรฐาน ซึ่งทำให้การสื่อสาร RS485 ผ่านอินเทอร์เฟซ RJ45 รองรับเครือข่ายอุปกรณ์หลายเครื่อง และเข้ากันได้กับระบบควบคุมอุตสาหกรรมหลัก ช่วยสร้างเครือข่ายการตรวจสอบสุญญากาศอัจฉริยะ
• การติดตั้งง่ายและการทำงานที่เชื่อถือได้: มาพร้อมกับหน้าแปลนสแตนเลสขัดเงา KF25 มาตรฐาน ซึ่งมีความสามารถในการปิดผนึกที่ยอดเยี่ยม และรองรับการติดตั้งในทุกทิศทาง (แนะนำให้ติดตั้งในแนวตั้ง) มีแหล่งจ่ายไฟแรงดันกว้าง (15~30V DC) และการใช้พลังงาน ≤6W ซึ่งสามารถปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมที่รุนแรงได้
• การสอบเทียบอัจฉริยะและการใช้งานที่สะดวก: มีการออกแบบอินเทอร์เฟซแบบเมนูสามระดับ รองรับการสลับภาษาจีนและอังกฤษ สามารถตั้งค่าพารามิเตอร์การสื่อสารและหน่วยบนไซต์ทำการสอบเทียบ 0.1Pa/ความดันบรรยากาศ และแม้กระทั่งคืนค่าการตั้งค่าจากโรงงานด้วยการกดปุ่มเพียงครั้งเดียว ซึ่งช่วยลดเกณฑ์การใช้งานและการบำรุงรักษาได้อย่างมาก