AGP4000 MEMS จัดจอดิจิตอลความแม่นยําสูง คาโทดเย็น เครื่องวัดระยะว่างประกอบ

                    AGP4000 MEMS เกจวัดสุญญากาศแบบผสมผสานชนิดแสดงผลดิจิทัลความแม่นยำสูง หลอดสุญญากาศแบบเย็น Pirani Vacuum Gauge

การใช้งาน:

• การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ใช้สำหรับการตรวจสอบสภาพแวดล้อมสุญญากาศอย่างแม่นยำในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การเคลือบเซมิคอนดักเตอร์ การควบคุมระดับสุญญากาศที่แม่นยำมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อคุณภาพและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ และ AGP4000 สามารถให้ข้อมูลสุญญากาศที่เชื่อถือได้เพื่อรับประกันเสถียรภาพของกระบวนการ
• สาขาการบินและอวกาศ: ในการทดสอบส่วนประกอบการบินและอวกาศและสถานการณ์อื่นๆ จำเป็นต้องจำลองสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่แตกต่างกันเพื่อทดสอบประสิทธิภาพของส่วนประกอบ AGP4000 สามารถรับรู้การตรวจสอบแบบเต็มช่วงตั้งแต่สุญญากาศต่ำไปจนถึงสุญญากาศสูง โดยให้การสนับสนุนข้อมูลที่สำคัญสำหรับการวิจัยและพัฒนาและการทดสอบด้านการบินและอวกาศ
• การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ที่แม่นยำ: ในการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ที่แม่นยำ เช่น การทดลองทางกายภาพและเคมีบางอย่างที่ต้องการการควบคุมสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีความแม่นยำสูง AGP4000 สามารถช่วยให้นักวิจัยได้รับข้อมูลระดับสุญญากาศอย่างแม่นยำ เพื่อให้มั่นใจถึงความถูกต้องและความสามารถในการทำซ้ำของผลการทดลอง
• การใช้งานเตาสุญญากาศ: สำหรับเตาสุญญากาศ จำเป็นต้องมีระดับสุญญากาศที่แตกต่างกันในขั้นตอนต่างๆ ของกระบวนการ AGP4000 สามารถตรวจสอบระดับสุญญากาศในเตาหลอมได้แบบเรียลไทม์ และทำงานร่วมกับระบบควบคุมเพื่อปรับระดับสุญญากาศ เพื่อให้มั่นใจถึงคุณภาพการอบชุบด้วยความร้อนของวัสดุและอายุการใช้งานของเตาหลอม

คุณสมบัติ:

• การวัดช่วงกว้างและความแม่นยำสูง: สามารถทำการตรวจสอบที่แม่นยำแบบเต็มช่วงตั้งแต่สุญญากาศต่ำไปจนถึงสุญญากาศสูง (1×10⁻⁶Pa ~ 1×10⁵Pa) ครอบคลุมช่วงกว้าง 6 ออร์เดอร์ของขนาด โดยมีข้อผิดพลาดในการทำซ้ำ ≤±5% และมีความเสถียรในระยะยาวที่ยอดเยี่ยม ให้รากฐานข้อมูลที่เชื่อถือได้สำหรับกระบวนการสำคัญ
• การทำงานร่วมกันอย่างชาญฉลาดด้วยเทคโนโลยีคู่: ระบบ Pirani ทำงานตลอดกระบวนการ และเมื่อระดับสุญญากาศ < 10 Pa ระบบหลอดสุญญากาศแบบเย็นจะเริ่มทำงานโดยอัตโนมัติโดยไม่ต้องมีการแทรกแซงด้วยตนเอง ซึ่งช่วยแก้ปัญหาข้อจำกัดของช่วงของอุปกรณ์แบบดั้งเดิมได้อย่างสมบูรณ์
• แข็งแรงและทนทาน: การออกแบบหลอดสุญญากาศแบบเย็นไม่จำเป็นต้องใช้ไส้หลอดทำความร้อน ซึ่งมีความสามารถในการป้องกันมลพิษสูง ช่วยยืดอายุการใช้งานและลดต้นทุนการบำรุงรักษา
• การแสดงผลภาพสีจริง: มาพร้อมกับหน้าจอสี TFT-LCD ความละเอียดสูง ซึ่งสามารถแสดงค่าความดันแบบเรียลไทม์แบบไดนามิก และสามารถสลับระหว่างสามหน่วย (Pa/Torr/mbar) ได้ด้วยปุ่มเดียว และยังแสดงอุณหภูมิ สถานะการสื่อสาร และเครื่องหมายเปิด-ปิดแรงดันไฟฟ้าสูง (คำเตือนสองสี แดง/น้ำเงิน) เพื่อให้ข้อมูลชัดเจนในพริบตา
• เอาต์พุตแบบดูอัลโหมด: มีสัญญาณอะนาล็อกเชิงเส้น 0~10V ซึ่งสามารถเชื่อมต่อโดยตรงกับอุปกรณ์อุตสาหกรรม เช่น PLC และเครื่องบันทึก และรองรับสูตรการแปลงลอการิทึม ทำให้ง่ายต่อการปรับให้เข้ากับระบบ ในเวลาเดียวกัน มีโปรโตคอล Modbus RTU มาตรฐาน ซึ่งตระหนักถึงการสื่อสาร RS485 ผ่านอินเทอร์เฟซ RJ45 รองรับการเชื่อมต่อเครือข่ายหลายอุปกรณ์ และเข้ากันได้กับระบบควบคุมอุตสาหกรรมกระแสหลัก ช่วยในการสร้างเครือข่ายตรวจสอบสุญญากาศอัจฉริยะ
• การติดตั้งที่ง่ายและการทำงานที่เชื่อถือได้: มาพร้อมกับหน้าแปลนสแตนเลสสตีล KF25 ที่ขัดเงาด้วยไฟฟ้า ซึ่งมีความแน่นหนาเป็นเลิศและรองรับการติดตั้งในทิศทางใดก็ได้ (แนะนำให้ติดตั้งในแนวตั้ง) มีแหล่งจ่ายไฟแรงดันกว้าง (15~30V DC) และการใช้พลังงาน ≤6W ซึ่งสามารถปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมที่รุนแรงได้
• การสอบเทียบอัจฉริยะและการใช้งานที่สะดวก: มีการออกแบบอินเทอร์เฟซตามเมนูสามระดับ รองรับการสลับภาษาจีนและอังกฤษ สามารถตั้งค่าพารามิเตอร์การสื่อสารและหน่วยงานในสถานที่ ดำเนินการสอบเทียบ 0.1Pa/ความดันบรรยากาศ และแม้กระทั่งเรียกคืนการตั้งค่าจากโรงงานด้วยปุ่มเดียว ซึ่งช่วยลดเกณฑ์การใช้งานและการบำรุงรักษาได้อย่างมาก