YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS เครื่องวัดกระแสน้ําหนักก๊าซร้อน 0.5-50 SLPM 1.5MPa

รายละเอียดสินค้า:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA MEMS ความร้อนแก๊ส Mass Flowmeter 0.5 - 50 SLPM 1.5MPa

คุณสมบัติ:

I. การถอดชิ้นส่วนโมเดล (ความหมายโดยละเอียดของแต่ละตำแหน่ง)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA

MF5006: ซีรีส์, DN6 (เส้นผ่านศูนย์กลางรูใน 6 มม., อินเทอร์เฟซ 1/4")

N2: ก๊าซมาตรฐาน = ไนโตรเจน (N₂)

M: หลักการไหลของมวลความร้อน MEMS

E: เปลือกอลูมิเนียมอัลลอยด์

0.5: ช่วงขั้นต่ำ 0.5 SLPM (ลิตรต่อนาทีมาตรฐานที่ 20°C / 1 atm)

50: ระยะสูงสุด 50 SLPM

15: ความดันใช้งานสูงสุด 1.5 MPa

AB: เอาท์พุต = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: ด้วยจอแสดงผล LCD (การไหลทันที + สะสม)

A: การกำหนดค่ามาตรฐาน (ไม่มีการปรับแต่งพิเศษ)

ครั้งที่สอง พารามิเตอร์หลัก (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)

1. ประสิทธิภาพการวัด

สื่อที่วัดได้: N₂, อากาศ, O₂, Ar, CO₂ ฯลฯ แห้ง สะอาด ไร้น้ำมัน ไม่มีการควบแน่นของก๊าซ

เจาะ / อินเทอร์เฟซ: DN6, 1/4" เกลียวด้านใน (G1/4 หรือ NPT1/4)

ช่วง (N₂, 20°C / 1 atm): 0.5–50 SLPM (ลิตรมาตรฐาน/นาที)

ความแม่นยำ: ±(การอ่าน 1.5% + 0.2% FS)

การทำซ้ำ: ≤ ± 0.5% FS

อัตราส่วนช่วง: 100:1 (ช่วงกว้าง ความไวการไหลต่ำ)

เวลาตอบสนอง: ≤100ms (การเปลี่ยนแปลงการไหลตามอย่างรวดเร็ว)

การไหลเริ่มต้น: ต่ำถึง 8 มม./วินาที (วัดการไหลขนาดเล็กมากได้)

2. ไฟฟ้าและเอาท์พุท

แหล่งจ่ายไฟ: 12–24 VDC ±10%, การสิ้นเปลืองพลังงาน < 2W

เอาต์พุตแบบอะนาล็อก: 4–20mA (สอดคล้องกับ 0–50 SLPM)

การสื่อสาร: RS485 (Modbus-RTU), การตรวจสอบระยะไกลผ่านเครือข่าย

จอแสดงผล: หน้าจอ LCD, แสดงการไหลทันที (SLPM) + การไหลสะสม

3. เครื่องกลและสิ่งแวดล้อม

วัสดุเปลือก: อลูมิเนียมอัลลอยด์ (E-Type) น้ำหนักเบา ทนต่อการกัดกร่อน

วัสดุสัมผัส: สแตนเลส 316L

แรงดันใช้งาน: ≤1.5 MPa (15bar)

อุณหภูมิในการทำงาน: -20°C ถึง +60°C

ความชื้น: 0–95% RH (ไม่มีการควบแน่น)

เกรดการป้องกัน: IP40 (กันฝุ่น, ในร่ม/สภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมทั่วไป)

การติดตั้ง: การติดตั้งแนวนอน / แนวตั้งตามต้องการ ไม่จำเป็นต้องมีการแบ่งส่วนท่อตรง (ข้อดีของ MEMS Thermal)

4. ลักษณะหลักการ

ความร้อน MEMS: การวัดโดยตรงของการไหลของมวล ไม่มีอุณหภูมิ / การชดเชยความดัน ความแม่นยำของอุณหภูมิ / ความผันผวนของความดันส่งผลต่อ

แรงดันแตกต่างต่ำเป็นพิเศษ: การสูญเสียแรงดันน้อยที่สุด เหมาะสำหรับระบบแรงดันต่ำ / การไหลขนาดเล็ก

ความเสถียรสูง: Zero Point Drift ขนาดเล็ก ไม่ต้องบำรุงรักษาระยะยาว

ที่สาม การใช้งานหลัก (การวัดที่แม่นยำของรูขนาดเล็กและก๊าซไหลต่ำ)

1. เซมิคอนดักเตอร์ / อิเล็กทรอนิกส์ (สถานการณ์หลัก)

ไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูง (N₂), ออกซิเจน (O₂), อาร์กอน (Ar), อัตราส่วนก๊าซในกระบวนการ และการตรวจสอบการไหล

การควบคุมที่แม่นยำของแก๊สไหลขนาดเล็กในกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ การแพร่กระจาย การกัด และการสะสม

2. การแพทย์ / เภสัชกรรม

การตรวจสอบการไหลของออกซิเจน / ไนโตรเจนในโรงพยาบาล (เครื่องช่วยหายใจ, เครื่องดมยาสลบ)

การตรวจวัดก๊าซฆ่าเชื้อทางเภสัชกรรม, ก๊าซป้องกัน (N₂/Ar) ที่แม่นยำ

3. ห้องปฏิบัติการ/วิจัย

อัตราการไหลต่ำ การผสม การตรวจสอบก๊าซปฏิกิริยาของก๊าซทดลอง (N₂/O₂/Ar/CO₂)

การตรวจวัดก๊าซไหลต่ำสำหรับการเร่งปฏิกิริยา การเผาไหม้ การสุ่มตัวอย่างสิ่งแวดล้อม ฯลฯ

4. ระบบอัตโนมัติทางอุตสาหกรรม

การควบคุมการไหลที่เสถียรของก๊าซป้องกันการเชื่อม (Ar/CO₂)

การตรวจสอบการไหลของการประมวลผลที่แม่นยำ อุปกรณ์ตรวจสอบ การระเบิด/การป้องกันก๊าซ

สาขาเล็กๆ ของการวัดการใช้พลังงานสิ้นสุด / อุปกรณ์

5. สิ่งแวดล้อม / พลังงานใหม่

ก๊าซไอเสียที่มีความเข้มข้นต่ำ, การตรวจสอบตัวอย่างการไหลขนาดเล็กของก๊าซส่วนท้าย

การตรวจวัดก๊าซไฮโดรเจนความเข้มข้นต่ำสำหรับเซลล์เชื้อเพลิงไฮโดรเจน

ข้อมูลจำเพาะ: