YJJ AGP4000H00 MEMS เครื่องวัดระยะว่างแบบผสมแบบคัดแคทโดดเย็นดิจิตอลความแม่นยําสูง เครื่องวัดระยะว่าง Pirani

คําอธิบายสินค้า:

YJJ AGP4000H00 MEMS เครื่องวัดระยะว่างแบบผสมแบบคัดแคทโดดเย็นดิจิตอลความแม่นยําสูง เครื่องวัดระยะว่าง Pirani

ลักษณะ:

I. การนําเสนอสินค้า

รูปแบบ: AGP4000H00, เครื่องวัดระยะสกัดเต็มระยะ, เครื่องวัดการนําความร้อน Pirani ที่บูรณาการ (วัดระยะบรรยากาศถึงระยะระยะกลาง) + เครื่องวัดการประกอบไอโอเนียซ์คาโทดเย็น (วัดระยะระยะสูง)

การสลับโหมดสองแบบอัตโนมัติ ไม่จําเป็นต้องจับคู่กับเครื่องวัดระยะว่างอิสระสองเครื่อง หน่วยวัดระยะว่างจากสแตนเลสที่บูรณาการ พร้อมกับจอสี TFT ท้องถิ่นยังรองรับการเชื่อมต่อสัญญาณแบบอนาล็อก / ดิจิตอลกับ PLC, หน้าจอสัมผัส, เครื่องควบคุมอุตสาหกรรม

คุณลักษณะที่แตกต่างกัน: หน้าจอสัมผัสของ Profiles AGP4000 คล้ายกับรุ่นวัคูมิเกจนี้ แต่มันเป็นสินค้าที่แตกต่างกันอย่างสิ้นเชิง การซื้อและการเชื่อมต่อของฮาร์ดแวร์ไม่ควรปะทะกัน

II ปริมาตรการทํางานหลัก

1ระยะการวัดระยะว่าง (คอมพอสิตสองขนาด)

ระยะการวัดทั้งหมด: 5×10−6 Pa ∙ 1×105 Pa (ครอบคลุม 6 ระดับขนาด, ครอบคลุมการสูบแบบหยาบ, ความว่างกลาง, และความว่างสูงตลอดกระบวนการ)

ระยะเวลาทํางานของ Pirani: 1 × 105 Pa ∼ 10 Pa (เปิดตลอดกระบวนการ, ติดตามจากบรรยากาศถึงระดับความว่างกลาง)

ช่องกําหนดการเริ่มต้นอัตโนมัติ cathode หนาว: < 10 Pa, เริ่มการวัดการไอโอไนส์โดยอัตโนมัติสําหรับความว่างสูงต่ํากว่าระดับความว่างนี้, ไม่จําเป็นต้องเปลี่ยนด้วยมือ

หน่วยการวัด: Pa / mbar / Torr, สามหน่วยสามารถเปลี่ยนได้พร้อมกัน, ด้วยอินเตอร์เฟสภาษาจีนและภาษาอังกฤษ

2ความแม่นยําและความมั่นคง

ความผิดพลาดในการซ้ํา: ≤ ± 5% การอ่าน

ความแม่นยําของการวัด: ± 30% การอ่านขนาดเต็ม

ความเร็วในการตอบสนอง: การตอบสนองระดับมิลลิเซกอนด์ของ Pirani; การเริ่มต้นคาโทดเย็นอย่างรวดเร็วและมั่นคงที่ความดันสูง

คุณสมบัติป้องกันมลพิษ: คาโทดเย็นไม่มีไฟฟ้าตองเฟรตเมนที่ร้อน ไม่ถูกเผาโดยควายน้ํามันหรือฝุ่นเคลือบ มีอายุการใช้งานที่ยาวนานกว่าเครื่องวัดไอโอเนชั่นคาโทดร้อน

3รายละเอียดของไฟฟ้า

ความดันไฟฟ้า: DC 15V 30V DC ระยะยาว

การบริโภคพลังงานรวม: ≤6W

การสื่อสาร / แหล่งไฟฟ้า อินเตอร์เฟซบูรณาการ: RJ45 แหล่งไฟฟ้าบูรณาการ + RS485

การสื่อสารดิจิตอล: Modbus RTU, อัตรา baud 4800/9600/19200/115200 ปรับได้, รองรับเครือข่ายหลายอุปกรณ์ (ที่อยู่ 1 ~ 255)

Output Analog: 0~10V logarithmic voltage output สามารถเชื่อมต่อโดยตรงกับเครื่องบันทึก PLC โมดูล analog

จํานวนการสลับ: 2 รีเล่เตือนโปรแกรม, สามารถตั้งขั้นต่ําระยะว่างสูง / ต่ําเพื่อเชื่อมโยงปั๊ม, วาล์วและไฟเตือน

4- เครื่องจักรกล, สิ่งแวดล้อม, วัสดุ

แฟลนจ์ระบายความว่าง: แฟลนจ์ระบายความเร็ว KF25 แบบมาตรฐาน ความแน่นอากาศที่ดีเยี่ยม รองรับการติดตั้งทุกมุม

วัสดุสัมผัสช่องว่าง: 304/316 สแตนเลสเคลือบไฟฟ้า เหมาะสําหรับระบบลื่นลื่นลื่นลื่นลื่นลื่นลื่นที่ไม่ใช้น้ํามัน

ระยะอุณหภูมิการทํางาน: 5°C55°C

ระยะอุณหภูมิการเก็บรักษา: -20°C ∼70°C

การป้องกัน: การปิดโลหะของเครื่องจักรทั้งหมด, โซนทนต่อฝุ่นและมลพิษน้ํามันเบา

หน้าจอ: จอสี TFT ไมโคร, จอค่าความว่างในเวลาจริง, อุณหภูมิภายใน, สถานะการสื่อสาร, ไฟเตือนสองสีสําหรับความว่างสูง/ต่ํา

III. หลักการทํางาน

เครื่องวัด Pirani (หลักการการนําความร้อน)

สายต่อความต้านความร้อน MEMS ภายใน โมเลกุลก๊าซดูดซึมความร้อน ยิ่งความดันสูง ยิ่งการระบายความร้อนเร็ว ยิ่งอุณหภูมิความต้านความร้อนต่ําวงจรสะสมการเปลี่ยนแปลงความต้านทานและแปลงชั้นบรรยากาศเป็นระดับความว่าง 10Paการทํางานอย่างต่อเนื่องตลอดกระบวนการ

เครื่องวัดไอโอเนชั่นคาโทดเย็น (การปล่อยปานนิ่ง)

เมื่อระดับความว่างต่ํากว่า 10Pa มันจะชาร์จความแรงสูงโดยอัตโนมัติ การยอนไอนก๊าซสร้างกระแสไอออนโดยวัดช่วงความว่างสูง 10Pa ~ 10−6Pa.

MCU ที่ติดตั้งในระบบกําหนดช่วงความดันโดยอัตโนมัติ เปลี่ยนระหว่าง 2 รูปแบบการวัดได้อย่างเรียบร้อยไม่จําเป็นต้องมีอุปกรณ์ Backend ในการดําเนินการเปลี่ยน range logic.

IV ข้อดีหลัก

เครื่องวัดขนาดเดียวครอบคลุมช่วงว่างทั้งหมด โดยแทนการแก้ไขแบบซอนดแบบสองแบบแบบ "Pirani Gauge + Ionization Gauge" แบบดั้งเดิม ทําให้ลดต้นทุนอุปกรณ์และพื้นที่ติดตั้งคาโทดเย็นไม่มีไฟแลนท์ไม่กลัวการกระแทกกับบรรยากาศหรือการปนเปื้อนเคลือบ ต้องการการบํารุงรักษาน้อย เหมาะสําหรับการผลิตอุตสาหกรรมต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง

มันมีจอสีท้องถิ่น ทําให้สามารถอ่านค่าความว่างได้ในสถานที่ โดยไม่ต้องใช้คอมพิวเตอร์ด้านบน ทําให้การแก้ไขและบํารุงรักษาสะดวก

นอกจากนี้ยังมี 0-10V อานาล็อก + Modbus ดิจิทัลสองออกที่สอดคล้องกับจอสัมผัส Proflex, เครื่อง PLC หลากหลายและระบบการรับควบคุมอุตสาหกรรม;

ความดันสูง DC15 ~ 30V เหมาะสมกับตู้อุปกรณ์สําหรับการจําหน่ายพลังงาน DC ความเหมาะสมอย่างมากในสถานที่อุตสาหกรรม

KF25 ทั่วไปมาตรฐาน flange, สามารถตรงกับปั๊มโมเลกุล, ปั๊มกลไก, และท่อระบายไฟมาตรฐานของห้องว่าง

VII. สถานการณ์การใช้งานหลัก

1อุปกรณ์เคลือบครึ่งประสาท วัคูมิค (การใช้หลัก)

เครื่องพ่นแม็กเนทรออน เครื่องระเหย เครื่องเคลือบแสง อุปกรณ์ฟิล์มนําไฟ ITO

การบรรจุแผ่นแผ่น, การทําความสะอาดพลาสมา, อุปกรณ์การกะทะ, ติดตามกระบวนการทั้งหมดของการสูบหยาบ → คอร์ฟกระบวนการระดับสูง

การตรวจสอบการรั่วไหลในช่องว่างรวมกับอุปกรณ์ตรวจสอบการรั่วไหลของฮีเลียมเพื่อกําหนดจุดรั่วไหล

2อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการวิจัย

เครื่องอุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์อุปกรณ์

ห้องจําลองสภาพภูมิอากาศ, เบนจ์ทดสอบความแน่นของอากาศ, อุปกรณ์ทดสอบการแก่ตัวของวัสดุ

การวิจัย ห้องทดลองระยะว่างสูง ติดตามระยะว่างแหล่งไอออน

3แบตเตอรี่ลิธีอุปกรณ์ผลิตพลังงานใหม่

แบตเตอรี่ลิเดียม หมักแอกุ๊ม, ห้องฉีดแอกุ๊ม, สถานีตรวจสอบการรั่วของเซลล์ความแน่นของอากาศ

ระบบระเหยสําหรับ defoaming อิเล็กทรอลิต อุปกรณ์เคลือบคลุมแอกเล็กทรออด

4- อุตสาหกรรมเครื่องบินและอวกาศ

ห้องทดสอบระดับความร้อนสูงและต่ําในระยะว่างขององค์ประกอบอากาศยานอวกาศ

อุปกรณ์แม่นยํา, เซ็นเซอร์ สถานีปรับระดับความว่าง

5อุปกรณ์สูบล้างอากาศ

ห้องความดันลบทางการแพทย์ อุปกรณ์ sterile vacuum sterilization เครื่องปรุงแห้งแบบแข็งตัวอย่างชีววิทยา

เครื่องหายใจคู่เคียง, การควบคุมการเชื่อมโยงความดันระยะว่าง (สามารถนําไปผสมผสานกับการเชื่อมโยงเซ็นเซอร์ CO2 ExplorerIR-M-5)

6. อุตสาหกรรมทั่วไป อัตโนมัติระยะว่าง

อุปกรณ์ดึงดูดแรงดันลบในระยะว่าง เครื่องบรรจุกระเป๋าระยะว่าง การควบคุมการเชื่อมโยงกลุ่มปั๊มระยะว่าง การเริ่มต้นหยุดระยะเกินระยะว่างอัตโนมัติของปั๊มกลไก, ปั๊มโมเลกุลวาล์วแยก.

VI. การสนับสนุนการแก้ไขอินเตอร์เฟซ (เข้ากันได้กับวัสดุที่มีอยู่ของคุณ)

จอด้านบน: หน้าจอสัมผัส AGP4000 Proflex, อ่านค่าระยะว่างผ่าน Modbus RJ45, ทําเส้นโค้ง, เตือนและโลจิกกระบวนการอัตโนมัติ

การเชื่อมโยงก๊าซ: จับคู่กับเซ็นเซอร์ CO2 ExplorIR-M-5, ซีพี 152 เซ็นเซอร์กลิ่น, ทําให้การติดตามที่บูรณาการของความว่างในห้อง + ความถี่ของก๊าซ;

อุปกรณ์ครบวงจรทางการแพทย์: รวมกับ DS100A โซนด์ตรวจสอบออกซิเจนเลือดโฮสต์, ใช้สําหรับความว่างทางการแพทย์ + สัญญาณชีวิตอุปกรณ์บูรณาการ

รายละเอียด: