|
รายละเอียดสินค้า:
|
| สเกลเต็ม: | 100 SCCM | แหล่งจ่ายไฟ: | +15 ถึง +28 VDC (จ่ายไฟเดี่ยว) |
|---|---|---|---|
| สัญญาณ: | อนาล็อก 0–5V; รองรับการสื่อสารแบบดิจิตอล RS485 | ความแม่นยำ: | ±1% เอฟเอส; การทำซ้ำ: ±0.2% FS |
| เน้น: | ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซสำหรับอุตสาหกรรมผลิตเซมิคอนดักเตอร์,เซ็นเซอร์วัดการไหลของอากาศทางการแพทย์พร้อมการรับประกัน,AS200A008C100CJCC ตัวควบคุมการไหล |
||
AS200A008C100CJCC เครื่องควบคุมการไหลของมวลก๊าซ ใช้สำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
การใช้งานทั่วไป
การแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์, CVD, ระบบจ่ายก๊าซ, การควบคุมก๊าซในห้องปฏิบัติการ, เครื่องมือวิเคราะห์ ฯลฯ
ข้อมูลจำเพาะ:
| อัตราการรั่วไหล | 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (He) |
| แรงดันที่ทนได้ | 3 MPa |
| ซีรีส์ผลิตภัณฑ์ AS200 | เครื่องควบคุมการไหลของมวลก๊าซ MEMS |
| A (ประเภทซีล) | A = ซีลยาง; สัญญาณ: อินพุต/เอาต์พุตแอนะล็อก 0-5V |
| 008 (รหัสก๊าซ) | 008 หมายถึงก๊าซที่ระบุ |
| C (หน่วยช่วง) | C = SCCM (ลูกบาศก์เซนติเมตรมาตรฐานต่อนาที) |
| 100 (เต็มสเกล) | 100 SCCM |
| CJCC | ส่วนต่อท้ายสำหรับอินเทอร์เฟซ, ประเภทวาล์ว, การรวมกันทางไฟฟ้าและฟิตติ้ง |
ผู้ติดต่อ: Xu
โทร: 86+13352990255
Thai
