ระยะการไหล:0 ~ 2000 ... 6000
ความถูกต้อง:± (2.0+0.5fs)%
อัตราส่วนการหมุนลง:> 100: 1
สำหรับใช้กับ:ก๊าซแห้ง
ระยะทาง:+/- 200 ซม./นาที
ความถูกต้อง:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
การดริฟท์เอาต์พุตแบบไม่มีจุด:+30 mV
การเคลื่อนไหวผลิต:+0.12 %/OC
แหล่งจ่ายไฟทำงาน:8-18VDC, 100ma
เส้นทาง (n):2.3. 4. 5
อัตราการไหล:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
อัตราส่วนช่วง:100:1
ความถูกต้อง:±(1.5 + 0.2 * FS) %
การทำซ้ำ:0.75 %
การดริฟท์เอาต์พุตแบบไม่มีจุด:± 30 mV
ความถูกต้อง:±(1.5 + 0.2 * FS) %
การทำซ้ำ:0.75 %
การดริฟท์เอาต์พุตแบบไม่มีจุด:± 30 mV
ขนาดพอร์ต:5.08 มม
วัสดุของเปลือก:ซิลิคอน
อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด:+ 85 °C
ความแม่นยำในการวัด:1.5
ระยะการไหล:0-800L
ความ กดดัน งาน:1 เมกะปาสคาล
เลขรุ่น:MF5619
หลักการ:เครื่องวัดกระแสน้ําหนัก
เส้นผ่านศูนย์กลางที่กำหนด:19มม
ความซ้ํา:±0.25% เอฟเอส
เวลาตอบสนอง:10 ms (ค่าเริ่มต้นปรับได้สูงสุด 1,000 มิลลิวินาทีผ่านซอฟต์แวร์)
ความดันระดับ:ความดันสูงสุด 2 MPa (290 psi)
ความถูกต้อง:± (1.5% ของการอ่าน + 0.2% ของระดับเต็ม)
ความซ้ํา:±0.25% เอฟเอส
เวลาตอบสนอง:10 ms (ค่าเริ่มต้นปรับได้สูงสุด 1,000 มิลลิวินาทีผ่านซอฟต์แวร์)