Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
พลัง:11.4 ~ 25.2V
ระยะทาง:0.5 ~ 10,1.8 ~ 32,5 ~ 85,9 ~ 150L/นาที
ความแม่นยำเต็มช่วง:x ± 1% (<50% ช่วง)
ระยะการไหล:0 ~ 2000 ... 6000
ความถูกต้อง:± (2.0+0.5fs)%
อัตราส่วนการหมุนลง:> 100: 1
สำหรับใช้กับ:ก๊าซแห้ง
ระยะทาง:+/- 200 ซม./นาที
ความถูกต้อง:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
การดริฟท์เอาต์พุตแบบไม่มีจุด:+30 mV
การเคลื่อนไหวผลิต:+0.12 %/OC
แหล่งจ่ายไฟทำงาน:8-18VDC, 100ma
เส้นทาง (n):2.3. 4. 5
อัตราการไหล:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
อัตราส่วนช่วง:100:1
