ฟังก์ชั่นหลัก:การบำบัดด้วยความร้อนการสั่นสะเทือน
อุณหภูมิการบำบัดด้วยความร้อน:อุณหภูมิคงที่ 40 ℃± 2 ℃
การเล่นเพลง:พื้นที่เก็บข้อมูลขนาด 128MB ในตัว
ช่วงการวัด:0.5 - 60L/นาที
อินเทอร์เฟซเธรด:G1/4 - G1
ไปป์ไลน์ที่ใช้งานได้:DN8 - DN25
Operating power supply voltage:8V to 15V
Port size:5.08 mm
Shell material:Silicon
วัดช่วง:0 ~ 300L/นาที
เอาท์พุท:RS485
ความแม่นยำ:± 3%fs
อัตราการไหลของมวล:0 - 1,000 SCCM
ความถูกต้อง:± (2 + 0.5 fs)%
เวลาตอบสนอง:8 msec
แรงดันไฟฟ้า:4.75-5.25V
ระดับสูง:4VDD
ระดับต่ำ:0.8V
Output mode:Analog voltage (0.5 - 4.5VDC)
Interface type:M5 screw hole or JST electrical interface
Repeatability:±1.0%
Measuring Range:0 to 100%
Working Pressure:±100 mbar
Operating Temperature Range:15 to 40°C
Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Thai
