การปรับสภาพสัญญาณ:ที่ได้ถูกสัดส่วน
ช่วงการไหล/แรงดัน:200 เอสซีซีเอ็ม
แรงดันเอาต์พุต @ จุดตัดแต่ง:5.0 VDC @ 200 SCCM
ช่วงการไหล (เต็มสเกล):+1000 SCCM
แรงดันเอาต์พุต @ จุดตัดแต่ง:5 VDC @ 1000 SCCM
แรงดันไฟฟ้า:1.00 ± 0.10 VDC
การกระตุ้นที่แนะนํา (ใช้วงจรทดสอบ):10 ± 0.01 Vdc 15 Vdc สูงสุด (2)
การบริโภคพลังงาน:30 mW
จุดตัดแต่งแรงดันเอาต์พุต:50 mV @ 650 SCCM
ระยะการไหล:+200 slpm
แรงดันกระตุ้น:10 VDC ± 0.01 VDC
พลังงานไฟฟ้า:8.0 Vdc นิ้ว/10.0 Vdc แบบ/15.0 Vdc สูงสุด
ช่วงการไหล (เต็มสเกล):± 200 SCCM
แรงดันเอาต์พุต @ จุดตัดแต่ง:30 mV @ 100 ซีซีซีเมตร
การเปลี่ยนแปลงแรงดันไฟฟ้าโมฆะ +25 °ถึง 25 ° C, +25 °ถึง 85 ° C:± 0.20 mV
ประเภท:ดิฟเฟอเรนเชียล
ระยะความดัน:± 5 mbar ± 500 Pa ± 2.0 inH2O
ก๊าซปรับ:อากาศ
ประเภท:การไหลของมวล
ระยะการไหล:± 200 SCCM
แรงกระตุ้นแรงดัน 3:8.0 VDC min./10 VDC ± 0.01 VDC Typ./15 VDC สูงสุด
ช่วงการไหล (เต็มสเกล) 1:0 SLPM ถึง 6 SLPM
ก๊าซปรับ:ไนโตรเจน
แรงดันไฟฟ้าที่แนะนำ:10.000 ± 0.010 VDC
ช่วงการไหล (เต็มสเกล) 1:+1000 SCCM
ก๊าซปรับ:ไนโตรเจน
แรงดันไฟฟ้าที่แนะนำ:10.000 ± 0.010 VDC
ช่วงการไหล (เต็มสเกล) 1:± 1000 SCCM
แรงดันไฟฟ้าที่แนะนำ:10 ± 0.01 VDC
แหล่งจ่ายไฟ: สูงสุดสูงสุด:8.0 VDC 15.0 VDC
ช่วงการไหล (เต็มสเกล) 1:± 30 SCCM
แรงดันไฟฟ้าที่แนะนำ:10 ± 0.01 VDC
การบริโภคพลังงาน:30 เมกะวัตต์
ช่วงการไหล/แรงดัน:0 SLPM ถึง 20.0 SLPM
แรงดันเอาต์พุต @ จุดตัดแต่ง:5.0 vdc @ 20 slpm
สไตล์พอร์ต:1/4 ใน - 18 NPT