ช่วงการไหล:0 - 2000sccm
อัตราการลดลง - อัตราส่วนลง:100:1
ความแม่นยำ:± (2.0 + 0.5fs)%
ความแม่นยำ:± 0.30% การอ่าน
การทำซ้ำและล่าช้า:± 0.35% การอ่าน
เวลาตอบสนอง:1 มิลลิวินาที
สัญญาณเอาต์พุต:เอาต์พุตดิจิตอล
แรงดันไฟฟ้า:3.3V หรือ 5V DC
ความแม่นยำ:± 2% ของระดับเต็ม (FS)
ช่วงการไหล:0 - 5000 L/นาที
แรงกดดันในการทำงาน:สูงสุด 16 บาร์
ประเภทอินเตอร์เฟส:โมดูลบอร์ด Socket หรือ Gas Path Board
ช่วงการไหล:0 ถึง 180 L/นาที (ระยะสั้น 260 L/นาที)
พื้นที่ตาย:<11 มล. (ใช้งานได้)
ความต้านทาน:<0.027 CMH2O/(L/Min) ในช่วงการไหลที่สมบูรณ์ (-180 L/นาทีถึง 180 L/นาที)
ช่วงการไหล:0 ถึง 180 L/นาที (ระยะสั้น 260 L/นาที)
พื้นที่ตาย:<11 มล. (ใช้งานได้)
ความต้านทาน:<0.027 CMH2O/(l/min)
ไหล:0 ถึง 30 ลิตร/นาที
พื้นที่ตาย:1.3 มล. (ใช้งานได้)
ความต้านทาน:<0.17 CMH2O/(l/min) มากกว่า
น้ำหนัก:ประมาณ 0.2 ปอนด์
มิติภายนอก:ประมาณ 3.5 × 4.5 × 6 นิ้ว
ข้อกำหนดบรรจุภัณฑ์:1 ชิ้นต่อแพ็ค
แรงดันไฟฟ้าทำงาน:5.0V
ปัจจุบันทำงาน:25mA
ช่วงการไหล:20 - 300SLM
ช่วงการไหล:+200 slpm
แรงดันไฟฟ้า:10 VDC ± 0.01 VDC
แหล่งจ่ายไฟ:8.0 Vdc นิ้ว/10.0 Vdc แบบ/15.0 Vdc สูงสุด
แหล่งจ่ายไฟ:18 - 28V DC
ช่วงการวัด:0.5 - 4, 50 - 250 ลิตร/นาที
ความแม่นยำ:<± 3.0% FS (อัตราการไหล) ± 5% FSMAX (@25 ℃)
ช่วงการไหล:0 ~ 1000SCCM
ความแม่นยำ:± (2.0+0.5fs)%
เวลาตอบสนอง:8msec
